青岛晨立电子有限公司专业生产的各种微控扩散炉、程控扩散炉用于半导体器件及集成电路制造过程中对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的热加工设备。 设备用途:微控扩散炉,程控扩散炉用于半导体器件及集成电路制造过程中对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的热加工设备。 设备描述: ◆我公司生产的扩散炉关键件全部采用进口件,具有高可靠性。 ◆扩散炉炉体采用四段加热,四点控温以确保双温区工作环境要求。 ◆ 采用进口智能控制器,可输出四个开关量,对炉温、阀门动作进行自动控制,并管理全部工艺时序,可编辑存贮九条工艺曲线。具有高抗干扰能力。 ◆具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。5. 具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。 主要技术参数: ◆可配工艺管外径:Φ120mm ◆操作温度:1150℃ ◆上恒温区工作温度:950℃ ◆下恒温区工作温度:900~1100℃ ◆上恒温区长度及精度:100mm/±10℃ ◆上恒温区长度及精度:150mm/±10℃ ◆升温时间:从室温到1150℃<60min 青岛晨立电子有限公司可为用户量身定制,改造各种非标微控扩散炉、程控扩散炉和扩散炉系统,欢迎广大新老客户致电或面谈。
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