设备清单(可变电容二极管Varicap)
序号 |
名称 |
制造商 |
型号 |
|
1 |
EPI外延系统 |
AMAT |
Centura 5200HT |
5’’ |
2 |
加热炉 |
东电电子TEL |
UL—2604—10HT |
5’’ |
3 |
加热炉 |
东电电子TEL |
HL—2604—10L |
5’’ |
4 |
离子注入Ion Implanter |
伊顿EATON |
NV—10—160 |
5’’ |
5 |
低压化学气相沉积 |
东电电子TEL |
HL—2604—10L |
5’’ |
6 |
AP CVD化学气相沉积 |
日立HITACHI |
AP612A,515A |
5’’ |
7 |
PE CVD化学气相沉积 |
AMS |
Pxj—100RM |
5’’ |
8 |
定位仪Aligner |
PE |
M640 |
5’’ |
9 |
涂布Coater |
DNS |
SCW—524BV |
5’’ |
10 |
显影设备Developer |
东电电子TEL |
MK2 |
5’’ |
11 |
自旋刻蚀机 |
DNS |
SPW—812U |
5’’ |
12 |
Asher(去胶机) |
日立HITACHI |
UA3150 |
5’’ |
13 |
干刻Dry Etche |
日立HITACHI |
M—216A |
5’’ |
14 |
溅射Sputte |
ANELVA |
ICL—1012 |
5’’ |
15 |
溅射Sputte |
爱发科ULVAC |
SV—9040 |
5’’ |
16 |
蒸着机 |
爱发科ULVAC |
EBB—16C |
5’’ |
17 |
Back Grinder 回磨床 |
DISCO |
DFG 83H/6 |
5’’ |
18 |
Tape胶带貼 |
高鸟机电TAKATORI |
AMT—1000B |
5’’ |
19 |
Tape 胶带剥がし |
高鸟机电TAKATORI |
AMT—200B |
5’’ |
20 |
Wet Station湿式工作站 |
各种 |
|
5’’ |
21 |
a-Step |
|
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|
22 |
扫描电镜SEM |
拓普康TOPCON |
DS—130 |
|
23 |
红外FTIR |
伯乐 |
QS—300 |
|
24 |
膜厚测定器 |
DNS |
|
|
25 |
表面粒子测定器 |
TENCOR |
Surfscan—4500 |
|
设备清单(IC协调器)
26 |
Stepper(步进光刻机) |
尼康 |
NSR—2005i |
6’’ |
27 |
Asher(去胶机) |
住友金属 |
SW—1100 |
6’’ |
28 |
离子注入Ion Implanter |
伊顿EATON |
NV—10—80 |
6’’ |
29 |
溅射Sputter |
爱发科ULVAC |
SV—9040 |
6’’ |
30 |
反应离子刻蚀二氧化硅RIE SiO2 |
ANELVA |
LLD—4100SR |
6’’ |
31 |
反应离子刻蚀金属RIE Metal |
日立 |
M—206 |
6’’ |
32 |
CVD TEOS |
企源科技AMT |
P—5000CVD |
6’’ |
33 |
纵型扩散炉 |
东电电子TEL |
VDF—610S |
6’’ |
35 |
蒸着机 |
爱发科ULVAC |
EBX—16C |
6’’ |
36 |
探针Prober |
东电电子TEL |
19S |
6’’ |
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