全自动氩气纯化器
一、我公司生产的系列氩气纯化装置可以将普通工业纯氩净化成高纯氩气,一键式氩气纯化装置实为气体充装公司及需要使用高纯氩气的场所及需要现场制气的用户设计研发生产的yi款新品,以安全,快捷,稳定,gao效,节能,美观及一键式操作等特点服务于广大新老用户,以zhuo越的气体质量服务于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等金属保护。电子半导体、集成电路、化工,电光源,医学科研等领域,高纯气体纯化器服务于光伏产业高纯保护气氛,满足色谱,光谱,质谱,科学仪器等现代仪表检测分析需要。
二、 技术特点
1. 本装置采用净化加纯化双重处理。它比一般净化机及单纯的纯化器多装有除去N2、CH4、H2、CO等杂质gao效吸气剂,因此 它不但具有普通净化机除去O2、H2O、CO2杂质的功能,还具有普通净化机不具有的除去N2、CH4、H2、CO等杂质的功能。纯度都在6个9以上,是当今净化装置所能达到的zui高水平。
2. 本装置双系统结构,开机后一组工作,另一组再生备用,且工作和再生都自动进行,故能够长期连续供气;当杂质吸附饱和后,可通过再生恢复活性,故寿命长。
3. 本装置采用微电脑工业控制技术,具有全自动功能,使用操作简单,克服了手动和半自动机型因人工操作失误引起的气体不纯,性能稳定可靠,只要有气源,就可实现长期无人管理。
4. 双式结构,开机后一组工作, 另一组再生备用,而且工作和再生都自动进行,故能连续供气,一台能顶单式的两台使用。
5. 对原料氩气要求不高,普通工业纯氩只要纯度达到≥99.96%就可以。
6. 气路系统全用电动控制阀及不锈钢电化抛光管制造,避免了因气路质量过差而对气体的二次污染。
三、 主要技术指标
1. 输入原料气
本纯化装置允许原料氩气中的氧含量≤3000ppm、N2≤200ppm、水≤1000ppm(即露点低于-20℃),一般瓶装纯氩均能满足这些要求。
2. 输出纯气
纯气的zui大输出能力为5~300m3/h
纯气中杂质含量:O2≤0.2ppm N2≤0.2ppm
H2O≤1ppm 即露点≤-76℃
C的氧化物≤0.1ppm S、P的氧化物≤0.1ppm
尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升,即100级
3. 工作条件
工作压力≤1.0MPa
干燥塔工作温度 常温 干燥塔再生温度 300℃
吸附塔工作温度 600℃
4. 电源
电压 320V 50HZ
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