产品性能 MC & MCR 系列质量流量控制器 精度(调零后标准条件下) ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) 高精度选配(调零后标准条件下) ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(选配)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备 重复性 ± 0.2% F.S 零点漂移&满量程漂移 0.02% F.S / ºC / Atm 工作范围 / 量程可调比 0.5% ~ F.S / 200:1 ******可控流量 102.4% F.S 典型响应时间 100 毫秒(可调整) 启动预热时间 < 1 秒 运行工况 MC & MCR 系列质量流量控制器 标准工况 (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换) 工作温度 −10 ~ +50 ºC 工作湿度范围 (非冷凝) 0 ~ 内部******工作压力(静压) 145 psig 极限压力 175 psig 对安装方式/方向的要求 MC: 无 MCR: 阀门须垂直安装 阀门状态 阀门常闭 防护等级 IP40 材质 MC: 303 & 302不锈钢, Viton®, 硅胶RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝 , 黄铜, 430FR 不锈钢, 硅, 玻璃 MCR: 303 & 302不锈钢, Viton®, 硅胶RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝, 416不锈钢, 镍, 硅, 玻璃若有特殊材质需求,请联系艾里卡特® 通讯 / 电源 MC & MCR 系列质量流量控制器 单色/彩色 LCD 显示屏 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度 可选数字输入/输出信号 1 RS-232 / RS-485 / Modbus / PROFIBUS3 可选模拟输入/输出信号 2 0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA 道模拟输入/输出信号 2 (选配) 0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA 电信号接口 8 针 Mini-DIN / DB9 / DB15 / 6 针工业接头 供电电压 MC: 12 ~ 30 Vdc (4-20 mA 信号输出须 15-30 Vdc ) MCR: 24 ~ 30 Vdc 供电电流 MC: 0.250 Amp MCR: 0.750 Amp 1. 数字信号输出质量流量、体积流量、压力和温度。 2. 模拟信号&道模拟信号(选配)输出质量流量、体积流量、压力或温度。 3. 若选择 PROFIBUS,则无模拟信号。关于 PROFIBUS 设备供电电压与电流 PROFIBUS 和 Modbus 设备无屏幕显示。 产品特色 MC & MCR 系列质量流量控制器 气体选择(Gas .™) 5.0 版 气体选择(Gas .™)5.0 版预置 98 种常用气体: 参见下页完整气体列表。 若您的气体不在标准列表中,请联系我们,艾里卡特®可订制多达八种气体成份的复杂混合气体。若为腐蚀性气体或制冷剂,请参见MCS 系列质量流量控制器。 气体编辑器(COMPOSER™) 气体编辑器(COMPOSER™) 为气体选择(Gas .™)功能 5.0 版一大亮点,允许用户自定义 20 组混合气体,每组可混合 5 种气体。 各量程设备参数 满量程质量流量控制器 满量程压损 1 (psid) 排气到大气中 机械尺寸 管道连接接口 2 MC 0.5 sccm 至 50 sccm 1.0 3.9”H x 3.4”W x 1.1”D M-5 (10-32) 母(内螺纹)3 MC 100 sccm 至 500 sccm 1.0 4.1”H x 3.6”W x 1.1”D 1/8” NPT 母 MC 1 slpm 1.5 MC 2 slpm 3.0 MC 5 slpm 2.0 MC 10 slpm 5.5 MC 20 slpm 20.0 MCR 50 slpm 2.0 5.5”H x 7.7”W x 2.3”D 1/4” NPT 母 MCR 100 slpm 3.2 MCR 250 slpm 2.4 5.5”H x 7.7”W x 2.3”D 1/2” NPT 母 MCR 500 slpm 6.5 5.5”H x 7.4”W x 2.3”D 3/4” NPT 母 (2000SLPM 可选配 1-1/4” NPT 母) MCR 1000 slpm 14.0 MCR 1500 slpm 17.0 MCR 2000 slpm 28.6 5.5”H x 8.1” W x 2.9” D MCR 3000 slpm 16.8 5.5”H x 8.9” W x 2.9” D 1-1/4” NPT 母 1. 另有 WHISPER 系列低压损质量流量控制器 2. 与Beswick®, Swagelok®管, Parker®, 表面密封, 快接接头和卡套转接头相兼容,也可以按照用户需求与VCR, SAE 接头相兼容。 3. Buna-N 表面密封至 1/8” NPT 母
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