Polycold 冷冻机工作原理:通常在高真空腔内,水气分子是典型的污染气体,占腔内残余气体 65% 到 95% ,当真空度达到 10-4 mbar 时,水汽分子会非常难抽,为了快速的达到较高的真空度,Polycold 研发出水汽深冷泵,快速吸附真空腔内的水汽,辅助抽真空,极短的时间达到10-8 mbar 高真空。 Polycold Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速闭环水气深冷泵-冷冻机,通过使用专利的 Polycold **环保型冷媒,利用麦斯纳(Meissner)吸收原理,使水气分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结从而被捕集。低温盘管可直接安装在真空腔中,根据客户腔体定制。 Polycold 应用:真空镀膜(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空,腔体内会残留大量水汽和油蒸汽,不但影响抽真空的时间,水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源,从而影响镀膜产品的产量和质量,Polycold 冷冻机在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,真空抽气时间缩短 75%,企业产能可增加 20% 到 !l Polycold 冷冻机利用新型**环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,更加降低了企业成本。 Polycold 组成: Polycold 组成 A:Polycold 冷冻机主机(铜环和轮子可以选配,方便运输) B:外部冷凝管(外部连接管) C:Feedthrough D:真空腔 E:冷盘(低温盘管) 目前在售的 Polycold 型号对比: 型号 MaxCool 4000 H MaxCool 2500 L PFC-552 HC PFC-672 HC PFC-1102 HC * 负载 Watts 4,000 2,500 1,000 1,500 3,600 抽水汽效率 l/s 220,000 140,000 50,000 70,000 200,000 极限真空 mbar 7 x 10-8 1 x 10-9 3x10-9 8x10-9 4x10-8 * Polycold PFC-1102 HC 已经停产,替代型号 MaxCool 4000 H 美国 Brooks 旗下 Polycold 冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机中国地区指定总代理,全权负责 Polycold 销售和售后维修服务。 上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。 若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式: 上海伯东:叶女士 伯东:王女士 T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049 M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw www.hakuto-vacuum.cn www.hakuto-vacuum.com.tw 上海伯东版权所有,翻拷必究!
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