轮廓仪测量原理
项目
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廓度仪
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X向光栅分辨率
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0.5μm
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导轨精度
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2.5μm /50mm
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导轨种类
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摩擦导轨
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X向行程
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100 mm
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X向精度
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±(4+2L/100)μm
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Z1向行程
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12mm
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Z1向光栅传感器分辨率
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0.4μm
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Z1向精度
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±(3.5+|4H |/12)μm
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立柱行程
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200mm
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立柱形式
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自动
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测量方式
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传感器移动式
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