MAS-RE-3300扩散炉适用工艺:扩散、氧化、合金、退火等工艺。 |
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扩散炉应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸 产品特点: 扩散炉主要技术指标 2、扩散炉系统组成:主机(加热体、石英/SiC管、功率组件等)、自动送片(悬臂-SiC)净化工作台、气路气源系统(气源柜)、计算机控系统等组成 3、扩散炉控制方式:手动送片/自动送片 4、扩散炉配置(单选/多选项): 5、扩散炉主要技术参数: 6、扩散炉结构尺寸:
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