简介
MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量,使激光光斑达到微米级别,提高测量的准确性,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
应用领域
●MEMS器件(微机电系统)的振动特性 ●连续的频域振动特性 ●MEMS的故障分析以及可靠性测试 ●MEMS运动特性分析
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