产品介绍:
主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可处理2-8英寸硅片的扩散工作。
产品特性:
◆满足2"-8"立式、卧式晶圆扩散炉"
◆保温材料:英国摩根进口保温层
◆绝缘材料:高精度99瓷拉条绝缘子
◆使用温度:350℃—1300℃
◆外 壳:不锈钢板/铝板
◆端 口:优质氧化铝氧化锆
◆控温段:3-5段控温
◆ 口 径:Φ80mm—Φ450mm
◆恒温区:100-1300mm
按客户的炉型要求,可内衬高纯刚玉管或SiC管
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