品 名
規 格
機 種
8KW水冷型雙面曝光機标准型(8轉5)
機器尺寸
1400mm(w)X2700mm(D)X1730mm(H)
淨 重
1000KG
電 源
AC380V,3¢,50HZ,150A
光 源
2支8KW金屬鹵素燈 保用800小时
燈管冷卻
間接水冷卻
曝光方式
常亮型,光能量計量
曝光控制
獨立單晶片,感應器時間設定控制
有效面積
850mmX680mm
曝光臺面
MYLAR對玻璃(X2), 電磁鎖控制
均 勻 度
5点测量≥85%
解 析 度
4/4mil線寬線距以上
臺面冷卻
風冷
使用環境
室溫25℃, 濕度55℃之清潔環境
曝光控制器
智慧型人機介面, 能量積量控制系統
配合設備
(1)15噸冷卻塔, 迴圈水管出入口管徑48mm配管.廢水排水管為48mm;
(2)21KVA電力系統NFB規格為三相80A;
(3)蒸餾水40升。
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