产品名称:石英管微波等离子体装置
产品说明:
技术参数及特性
1. 反应室工作压强:几百帕~十千帕
2. 反应室极限压强: 6×10-1帕
3. 反应室尺寸: Φ50mm
4. 微波功率: 0~500W
5. 基片温控: 200~1000℃
设备安装
1. 安装环境要求
1) 供电: AC220V,50Hz,功率2000W
2) 温度、湿度、气源及冷却水:应保障设备工作稳定正常
3) 安装室:室内整洁,空气流通,无尘埃。
4) 接地线:室内具有独立接地线<3Ω
2. 安装程序
1) 确认安装环境
2) 检查设备良好情况(运输过程中是否造成损坏)
3) 安装真空泵、抽气管道、隔断阀及其它配件
4) 连接电气柜至主机各电缆线
5) 确认各电气部件完好无损
6) 升降双层水冷支架,确认石英管、基片台及其它部件完好无损
7) 连接并启动确认循环控制冷却水完好
8) 连接好设备地线。
操作及注意事项
1. 检查确认设备各部件完好,连接安全(注意接地)。
2. 接通总电源,打开总电源开关按钮,确认冷却水箱水容量及MTC-2000水冷控制系统(详细请参照MTC-2000操作说明书)已设定完成后,打开冷却水开关按钮。
3. 打开隔膜阀,确认气路连接规范完好后打开机械泵开关按钮,抽真空约5分钟使本底真空达到所需要求。
4. 开启流量计开关,给真空室输送工作气源。
5. 开启高压开关按钮,将阳极电流加载至约15mA,关闭隔膜阀,调节微调阀使工作气压达到所需要求。
6. 调节短路活塞及工作平台高度使装置稳定工作。
7. 试验结束时,将阳极电流调至0,关闭高压开关按钮,关闭气路,关闭机械泵,关闭冷却水,关闭总电源。
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